Accupol Waferdurchforstungsvorrichtungen
Die Accupol Vorrichtung ist ein Präzisions-Vakuummessgerät, das für den gleichen Zweck wie die Diamantanschlagsvorrichtung verwendet wird - für die Bearbeitung von dünnen und zerbrechlichen Komponenten. Die Hauptunterschiede sind, dass Accupol einen Konditionierungsring in seine mechanische Baugruppe integriert. Der Konditionierungsring der Maschine wird entfernt und die Accupol wird zur Bearbeitung direkt an die Maschinenrollenjochlager angelegt. Die Bauteilparallelität wird durch die Fertigungstoleranzen der Vorrichtung gesteuert, insbesondere durch die Rechtwinkligkeit der Vakuumspannfläche und der Verschleißringoberfläche zur Kolbenbohrung. Ein einstellbarer Gewindeanschlaghals steuert den angemessenen Abstand des Vakuumfutters, das das Bauteil enthält, anstelle von Diamantanschlägen, die den einwandfreien Zustand der gesamten Vorrichtung steuern.
Wirtschaftliches Werkzeug zur Verarbeitung von 3"-4"-6"-Wafern oder mehreren kleinen Wafern/Geräten
-Dünne Wafer bis unter 75 Mikrometer
-Beibehalten/Verbessern des Kegels auf < 1 Mikron
Für sowohl Läpp- als auch Polieranwendungen
Der Accupol ist mit einer elektronischen Messuhr ausgestattet, die anzeigt, wie viel Komponentenmaterial entnommen wird oder wann eine bestimmte Komponentendicke erreicht wird. Lapmaster bietet drei Standard-Accupol-Größen für die Modelle 12, 15 und 20 an. Ein spezielles Rollenjoch ist erhältlich, um den Einsatz einer Accupol 12 auf einer Maschine des Typs 15 zu ermöglichen. Kundenspezifische Accupol-Designs können auf Anfrage angeboten werden.
Das Lapmaster Accupol System ist sehr einfach zu bedienen. Die Einheit ist so konzipiert, dass sie nur Komponenten verarbeitet, die eine parallele Dicke und eine anspruchsvolle Dickenvariation erfordern.
Es gibt grundsätzlich drei (3) Anpassungen, die am Lapmaster Accupol System vorgenommen werden können:
-Einstellen des digitalen Messgerätes zur Überwachung der Abtragsleistung
-Einstellung der Einheit zum mechanischen "Stoppen" eines zusätzlichen Materialabtrags/Vertikalhubs
-Einstellung der Einheit auf "Federspannung" und Gesamtabtriebskraft
Für beste Gesamtergebnisse sollte die Fläche des Vakuumfutters innerhalb von 1-2 Helium-Lichtbändern flach sein, mit einer polierten und kratzfreien Oberfläche. Darüber hinaus sollte der Konditionierungsring (der mit dem Accupol-Körper verschraubt ist) auch eine ebene Oberfläche aufweisen (die Seite, die die Lap-Platte berührt) und die gesamte Parallele am Ring sollte beim Ausbau innerhalb von 0,0003" oder weniger liegen. Alle Einstellungen, die am Accupol vorgenommen werden, sollten auf einer sehr flachen und sauberen Oberfläche vorgenommen werden, wie z.B. einer Granitplatte.
