Diamantanschläge & Einstellvorrichtungen
Der Zweck der Verwendung einer Diamantstoppvorrichtung ist die Kontrolle der fertigen Dicke und Parallelität von dünnen zerbrechlichen Komponenten, typischerweise dünnen Wafern und Platten aus Halbleiter-, elektronischen und elektrooptischen Substraten. Eine Diamantstoppvorrichtung besteht aus einem runden Block aus Edelstahl mit drei oder mehr höhenverstellbaren Gewindeschrauben mit Diamantspitze, die sich von einer geläppten und polierten Fläche erstrecken, die zur Befestigung dünner, zerbrechlicher Bauteile verwendet wird. Die Komponenten werden mit Wachs mit niedrigem Schmelzpunkt oder im Falle von speziell ausgestatteten Diamantstoppvorrichtungen vom Typ Vakuum mit Vakuum montiert. Die ausgefahrene Höhe des Diamantanschlags über der polierten Fläche des Vorrichtungskörpers bestimmt, wann die montierten Komponenten während des Läppvorgangs keinen Druck mehr auf sie ausüben.
Wenn der Diamant aufhört, die Lap-Platte zu berühren, hört der Abtrag praktisch auf, bis auf eine kleine Menge an Erosion, die natürlich durch die unter den Komponenten zirkulierende flüssige Aufschlämmung verursacht wird. Eine gewisse Erfahrung in der Prozessentwicklung wird dazu beitragen, die zusätzliche Diamantanschlaghöhe zu bestimmen, um den Abtrag aus der Erosion, der nach dem Kontakt der Diamantspitzen mit der Lap-Platte erfolgt, zu berücksichtigen. Die Vorrichtung muss von der Maschine entfernt werden, sobald alle Diamanten die Platte berühren. Bei minimalem Kontakt entsteht keine Beschädigung der Platte oder der Diamantspitzenoberfläche.
Standard Wachsmodelle sind so konzipiert, dass sie in die Konditionierringe der Lapmaster-Maschinen durch das Modell 36 passen. Die Vorrichtungen sind standardmäßig mit langen Diamantanschlägen ausgestattet, die eine gerändelte Verlängerung über der Vorrichtung zur Fingerjustierung aufweisen. Für Bedingungen, bei denen eine Druckplatte auf die Vorrichtung gestapelt wird, um zusätzliches Gewicht aufzubringen, stehen spezielle kurze Diamantanschläge mit Innensechskantschlüssel zur Verfügung. Der Anschlag ist kurz genug, um vollständig im Leuchtenkörper enthalten zu sein.
Lapmaster bietet für jede der Vorrichtungsgrößen einen Einstellständer an. Der Ständer ermöglicht es, die Vorrichtung umgekehrt zu halten, während die Einstelllehre mit der Messuhr zur Messung der ausgefahrenen Höhe der Diamantspitzen verwendet wird.
Funktionsweise der Diamantvorrichtung
In den meisten Fällen wird die Diamant-Stoppvorrichtung während des Läppprozesses verwendet, um Teile auf kontrollierte Dicke und Parallelwerte zu verdünnen.
-Die diamantbestückten Bolzen (Diamantanschläge) dienen als mechanische Anschläge zur Kontrolle der fertigen Dicke. Je nach Anwendungsanforderung werden 3 bis 5 Diamantanschläge auf einer Vorrichtung eingesetzt.
Der Diamantgehalt des Bolzens ist ein eingesetzter Diamant, der etwas kugelförmig geformt ist, um ein Eindringen in die Lap-Platte zu verhindern.
-Die Höhe der Diamantanschläge wird mit einer Lehre eingestellt, die auf der Diamantanschlagsvorrichtung "nullgestellt" wird. Die Anschläge werden in der Regel auf einen Höhenwert der gewünschten Fertigdicke (über Null) eingestellt, abzüglich des "Fudge-Faktors" (Film aus Montagematerial & Luftspalt).
-Die zu läppenden Teile müssen mit Wachs oder Vakuum fest mit der Vorrichtung verbunden sein.
-Läppschleifmittel sind auf die Typen beschränkt, die die Diamantspitzen nicht angreifen oder anderweitig beeinträchtigen.